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「SEMICON Japan 2023」出展のご案内

SEMICON Japanは、半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMARTアプリケーションまでをカバーし、エレクトロニクス製造の国際展示会です。西村ケミテックは、自社製品を始め、海外の半導体装置・材料を取り扱っており、理解しやすい展示を心がけておりますので、是非一度ご来場ください。

≫薬液供給装置のデモンストレーション映像をご視聴されたい方は、
こちらからお申込み下さい

12月13日（水）～15日（金）: ※事前予約制（質疑応答可）
　1回目11:00 開始
　2回目15:00 開始
※LIVE配信（視聴のみ）
　3日間 13:00 開始

■ 出展概要

弊社展示ブースにおいては、下記7つのアイテムを紹介させて頂きます。

１：西村ケミテック（日）スラリー/ケミカル希釈供給システム、D/C自動化システム、ドラム攪拌システム
２：Quantum Science（英）高性能SWIRイメージセンサ材料及び半導体製造を支援する量子ドット
３：Unisem（韓）排ガス除害装置　（サイネージ展示）
４：LOT　VACUUM（韓）ドライポンプ（真空ポンプ）
５：三甲（日）半導体ウェハ搬送容器
６：普清浄化 PUQING PURIFICATION（中）（PE/ナイロンのクリーン袋）
７：ENTEGRIS（米）

➀Accusizer-mini　：　CMP-slurry中のLPC On-line Monitor
②Semichem : Potentiometryを主とした、On-Line薬液濃度Monitor

今年は、弊社システムエンジニアリング部の開発装置として、ドラムキャビネット自動装置、ドラム攪拌装置を展示致します。その他、Unisem（韓）排ガス除害装置/Quantum Sciences社（英）量子ドットー / LOT　VACUUM（韓）ドライポンプ（真空ポンプ）/ 三甲（日）半導体ウェハ搬送容器　/　ENTEGRIS製　Accusizer-Mini、Semichem　/　普清浄化 PUQING PURIFICATION（中）のPE/ナイロンのクリーン袋・サンプル展示を致します。

是非、弊社ブースに来展頂き手に取って御観覧ください。

■ 展示品(予定)

薬液供給装置 /（株）西村ケミテック

スラリー/ケミカル希釈供給システム、ドラムキャビネット完全自動化システム

①スラリー/ケミカル希釈供給システム
超純水と、スラリー原液＋添加剤（H202）等をCMP装置直前で調合し供給する装置です。（多液混合）
供給濃度の可変も容易、供給中の変更も可能。消費期限、経時劣化などをきにすることなく、PureSlurryを供給できます。
②ドラムキャビネット完全自動化システム（D/C自動装置）
従来手動でドラム交換作業などで発生する問題（ドラムの落下・転倒、セットアップのミス、薬液のロス）を解決したドラム交換・供給の完全自動化を実健しました。24時間対応可能なドラム交換で安定的原液供給が可能となりますので、ドラム交換のコストとタイムロスを削減し、稼働効率をアップします。
是非、弊社ブースに来展頂き手に取って御観覧ください。

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濃度計

ENTEGRIS Accusizer-mini、Semichem

➀Accusizer-mini:CMP-slurry中のLPC On-line Monitor CMP-Slurry中粗大粒子(LPC)のOn-Lineモニタリングアプリケーション。
お客様のアプリケーションに応じて変更可能なLE400,FX,FX-nanoのセンサーアプリケーションにより、幅広い粒子サイズ、濃度に対応します。
NYSのSlurry供給システムとOn-Line統合する事により、希釈・調製されたスラリーをOn-Line/リアルタイムに監視する事で、プロセスの安定性向上、歩留まり低下に寄与します。

②Semichem:Potentiometryを主とした、On-Line薬液濃度Monitor半導体製造プロセスにおけるChemicalを自動サンプリングし、その濃度を電気化学的手法で分析する事で、On-Lineモニタリングを行います。
Lab.レベルの分析を、製造プロセスに応用する事で、迅速かつ正確なプロセス制御が可能。
NYSのSlurry/Chemical供給装置とOn-Line統合する事で、Chemical濃度を高精度測定、濃度減衰の補正を行う事で、プロセスの安定性向上、歩留まり低下に寄与します。
真空ポンプ / LOT VACUUM（韓）

韓国の真空装置メーカーLOT VACUUMは、半導体/液晶/太陽光向けのドライ真空ポンプのメーカです。
半導体、ディスプレイパネルの前工程の多くは、真空状態で行われるため、真空ポンプで一定の空間で気体を含む各種の物質を吸って真空状態を作ります。同社ポンプは、同じ形のネジカップル噛み合っ回転しながら気体を吸入、排気するスクリュー（Screw）方式であり、合他社が活用するルーツ（Roots）と比較して部品数が少なく、排気量が高いのがメリットです。

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半導体プロセスガス除害装置 / UNISEM（韓）

UNISEMは、韓国を代表する半導体/液晶プロセス向けの除害装置/Chillerメーカーです。除害装置の場合、Burn-wet式、Plasma式など様々なラインナップを持っており、国内デバイスメーカー向けに500台以上の実績を持っております。台数増に伴い、西村ケミテックはUNISEM社との連携強化し、立上、保守、メンテ、トラベル対応まで国内窓口として役割を果たしております。

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量子ドット/ Quantum Science（英）

Quantum Science高性能SWIRイメージセンサ材料及び半導体製造を支援する量子ドット

高性能・低コストのSWIRイメージセンサを実現するために、イメージセンサまたはセンサ材料および半導体製造を支援する量子ドット製品および技術サービスを提供。既存のSWIR技術と比較し大幅にコストダウンを実現し将来のSWIR製品市場に変革をもたらします。
半導体ウェハ輸送容器 / 三甲（株）

半導体産業の根幹である半導体ウエハをクリーンかつ安全に搬送する容器です。
様々なウエハサイズに対応できるラインナップを揃え、厳しい性能試験をパスした信頼性の高い容器で
高い付加価値をご提供致します。
包装材料

PE/ナイロンのクリーン袋
/ 普清浄化PUQING PURIFICATION（中）

本製品は、クリーンパッケージング用の包装材料です。（AMAT認定メーカー、ISO-Class 5のクリーンルームでフル製造。）半導体装置・部品、半導体グレードの高純度原材料およびウェハなどの包装に適しています。
◆ラインナップ：クラス100のPE/ナイロンのクリーン袋、PE/ESD帯電防止袋、純/複合ナイロン袋、アルミ箔の袋、消耗品などAMAT、ASMC、NAURAなどの認定メーカーとして、サプライヤーに多数採用。ラムリサーチ認証も取得する予定。