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SLURRY/CHEMICAL

apparatus_薬液希釈_ローカルサプライ

薬液希釈供給装置(Chemical・ケミカル・薬液・洗浄液・クリーナー)個別・ローカル(Local Supply)

説明

  • 薬液希釈供給装置の個別(1～2台程度)供給(local Supply)装置
  • 薬液、クリーナー原液を指定倍に希釈し1～2台の半導体向け装置に供給する装置
  • 希釈調合にはDIWだけでなく指定薬液(添加剤、複数薬液)を調合し供給

Strong Point

  • 希釈調合の精度(再現性)と濃度管理(条件による)
  • 温度制御による供給液管理
  • 濃度監視による供給液管理と再調整
  • 連続供給を可能にした調合方式
  • 1～2台の接続装置へ供給圧/流量の安定供給を実現
  • 監視情報と装置状態を常時監視しデータ蓄積による不具合解析の迅速化

薬液希釈供給装置（Chemical Supply）

(c) NISHIMURA CHEMITECH 2019