真空ポンプ

LOT Vacuumについて

LOT Vacuum（エルオーティーベキューム）は、2002年に設立された韓国を代表する真空ポンプ専門企業です。ドライ真空ポンプのライフサイクル（開発、製造、販売、修理）全般にわたるビジネスを展開しております。半導体、ディスプレイ、太陽光、二次電池などの先端産業分野に最適化された真空ソリューションを提供しており、これまでに国内外で約63,000台の納品実績を有しています。

主な競争力

独自技術の開発
および製造
顧客ニーズに応じた
カスタマイズ設計と
迅速な対応
国内外の多数の
グローバル企業への
納入実績

LOT Vacuumの特徴

取扱商品

ドライ真空ポンプ（Dry Vacuum Pump）

用途

半導体（CVD、拡散、エッチング、PVD、ロードロックなど）、太陽光、FPD（二次電池）、一般産業など

特徴

01
ドライ構造による環境配慮と維持費削減

オイルを使用しないドライ方式により、クリーンで環境に優しい製造環境を実現し、追加の保守費用を削減します。
02
低消費電力設計・メンテナンスコスト削減

エネルギー消費を最小限に抑える設計となっており、ESG経営目標の達成に貢献します。独自開発の「ECO-Sync（省エネモード）」により、顧客のCOO（総保有コスト）削減にも寄与します。
03
高耐久性と優れたプロセス対応力

スクリューデザインのローターを採用し、プロセス副産物への耐性が高く、腐食に強い特殊コーティングにより耐久性を強化しています。
04
先端プロセスに最適化された真空技術

LOT Vacuumの真空ポンプは、半導体、ディスプレイ、太陽光、二次電池などの高付加価値産業のプロセスに最適化されており、高い排気速度と安定した真空維持性能により、プロセス効率を最大化します。

製品一覧

DD Series
- デュアルスプリット
  スクリューローター設計
  スプリットフロー構造と短いガス経路により、パウダーの処理性能に特化しています。
- 高トルク・オイル
  冷却式ローター
  モーターの最大出力を活用することでポンプのパワーを向上させ、オイル冷却機能によりローターおよびポンプ内部の温度制御が可能となります。低温および極低温プロセスに適しています。
HD Series
- ハイブリッド
  スクリューローター設計
  Lobe（ロータリー）とスクリューを融合させたハイブリッドスクリューの採用により、パウダー処理性能に優れています。ガス経路が短く、粉体の搬送が容易です。
- 低消費電力
  ハイブリッドスクリュー方式による追加圧縮構造の採用により、DDシリーズと比較して電力消費を抑えることが可能です。
XD Series
- ハイブリッド
  スクリューローター設計
  ライトプロセス（Light Process）への対応において優れた特長を発揮。ポンプの小型化により、低消費電力を実現。腐食性ガスを多く使用する半導体エッチング工程に対応するため、LOT独自の特殊コーティングが施されたモデル。
- 小型設置面積
  （Small Footprint）
  同クラス仕様の他社製品と比較して、設置面積を約35％削減可能。
RD Series
- マルチルーツローター設計
  （Multi Roots Rotor Design）
  マルチルーツローター構造により、高い圧縮比の実現とエネルギー効率の最大化を実現。
- 幅広い用途への対応
  プロセス工程からロードロックまで、幅広い用途に適用可能なポンプ。
- 軽量ガス（Light Gas）
  ハンドリングに特化したモデル
  長いガス経路により、バックストリーム（逆流）現象の抑制に優れた性能を発揮。