ドライ真空ポンプ

LOT Vacuumについて

LOT Vacuum（エルオーティーバキューム）は、2002年に設立された韓国を代表する真空ポンプ専門企業です。ドライ真空ポンプのライフサイクル（開発、製造、販売、修理）全般にわたるビジネスを展開しております。半導体、ディスプレイ、太陽光、二次電池などの先端産業分野に最適化された真空ソリューションを提供しており、これまでに国内外で約63,000台の納品実績を有しています。

主な競争力

独自技術の開発
および製造
顧客ニーズに応じた
カスタマイズ設計と
迅速な対応
国内外の多数の
グローバル企業への
納入実績

LOT Vacuumの特徴

取扱商品

ドライ真空ポンプ（Dry Vacuum Pump）

用途

半導体（CVD、拡散、エッチング、PVD、ロードロックなど）、太陽光、FPD（二次電池）、一般産業など

特徴

LOT ドライ真空ポンプを使用した際の利点

オイル・潤滑剤が不要: 定期的なオイル交換やフィルター交換が必要ありません
環境に配慮: 廃油が発生しないため、環境負荷を低減できます。
プロセス汚染の最小化: 内部摩擦部分にオイルを使用しないため、プロセス汚染のリスクを抑えられます。
柔軟な設置・運転が可能: さまざまな環境や条件で柔軟に導入・運用できます。

粉体処理と大流量ガスに対応した高効率プロセス

パウダー処理技術: 多様な粉体を安全かつ効率的に処理し、
作業環境の改善とプロセス品質の向上を実現します。
大流量・軽ガスの処理: マルチステージブロワを採用し、高効率な運転を実現します。

高耐食コーティングで 99.8%の腐食抑制

防食コーティング技術: 高耐食性の Ni-P-W コーティングにより、
優れた腐食防止効果を発揮します。
腐食試験結果: ：Ni-W コーティング → 腐食率 99.8％低減

装置連動で省エネ・コスト削減

エコ・シンクモード運転: メイン装置の入力信号と同期し、
プロセスの状態に応じてポンプを効率的に制御します。

効果1消費電力を削減　: モーター回転数を可変制御し、省エネルギー運転を実現します。

効果2ユーティリティ使用量削減

: N2 or CDA Gas

: PCW (Cooling Water)

製品一覧

DD Series
- デュアルスプリット
  スクリューローター設計
  スプリットフロー構造と短いガス経路により、パウダーの処理性能に特化しています。
- 高トルク・オイル
  冷却式ローター
  モーターの最大出力を活用することでポンプのパワーを向上させ、オイル冷却機能によりローターおよびポンプ内部の温度制御が可能となります。低温および極低温プロセスに適しています。
HD Series
- ハイブリッド
  スクリューローター設計
  Lobe（ロータリー）とスクリューを融合させたハイブリッドスクリューの採用により、パウダー処理性能に優れています。ガス経路が短く、粉体の搬送が容易です。
- 低消費電力
  ハイブリッドスクリュー方式による追加圧縮構造の採用により、DDシリーズと比較して電力消費を抑えることが可能です。
XD Series
- ハイブリッド
  スクリューローター設計
  ライトプロセス（Light Process）への対応において優れた特長を発揮。ポンプの小型化により、低消費電力を実現。腐食性ガスを多く使用する半導体エッチング工程に対応するため、LOT独自の特殊コーティングが施されたモデル。
- 小型設置面積
  （Small Footprint）
  同クラス仕様の他社製品と比較して、設置面積を約35％削減可能。
RD Series
- マルチルーツローター設計
  （Multi Roots Rotor Design）
  マルチルーツローター構造により、高い圧縮比の実現とエネルギー効率の最大化を実現。
- 幅広い用途への対応
  プロセス工程からロードロックまで、幅広い用途に適用可能なポンプ。
- 軽量ガス（Light Gas）
  ハンドリングに特化したモデル
  長いガス経路により、バックストリーム（逆流）現象の抑制に優れた性能を発揮。