西村ケミテックが長年取り組んできた 直前調合技術 が、測定機器との連携により新たな用途へと進化しました。
本システムは、希釈機能と分析機能を一体化させることで、供給（調合）液の状態をリアルタイムに監視し、送液状態の確認からデータの自動集積までを一括で行える革新的なソリューションです。
原液製造現場から半導体デバイス製造工程まで、幅広い分野で利用可能な柔軟性を備えており、プロセスの安定化、品質管理の高度化、トレーサビリティ向上に貢献します。
直前調合の価値をさらに高める、“希釈 × 分析 × 監視” 一体型の次世代システム をぜひご体感ください。

西村ケミテックが長年培ってきたドラムキャビネット自動化システムに、新たな技術を追加し、より幅広い設置場所・設置環境に対応できる「進化型ドラムキャビネットシステム」です。本システムは、従来のアクチュエータ方式を更にブラッシュアップし、信頼性と操作性を一段と高める研究を推進してきた成果に基づき開発されています。
さらに今回、ロボット方式を採用することで、「設置環境、設置条件、搬入経路、輸送手段」など、従来の課題となっていた多様な制約に柔軟に対応できる構造へと進化。これにより、さまざまな現場で導入が可能となり、運用の自由度が大幅に向上します。

独自開発の検査プログラムにより、リードフレーム製品の位置を正確に特定し、微細な欠陥を高精度で検出。リード部品ごとの補正機能で過検出を防ぎ、安定した検査を実現します。
さらに、製品データを蓄積・検証することで、検査アルゴリズムの進化と精度向上を継続的に行います。お客様のニーズから生まれた新しいタイプの検査機です。

UNISEMは、韓国を代表する半導体/液晶プロセス向けの除害装置/Chillerメーカーです。
除害装置の場合、Burn-wet式、Plasma式など様々なラインナップを持っており、国内デバイスメーカー向けに500台以上の実績を持っております。
台数増に伴い、西村ケミテックはUNISEM社との連携強化し、立上、保守、メンテ、トラベル対応まで国内窓口として役割を果たしております。

韓国の真空装置メーカーLOT VACUUMは、半導体/液晶/太陽光向けのドライ真空ポンプのメーカです。
半導体、ディスプレイパネルの前工程の多くは、真空状態で行われるため、真空ポンプで一定の空間で気体を含む各種の物質を吸って真空状態を作ります。
同社ポンプは、同じ形のネジカップル噛み合っ回転しながら気体を吸入、排気するスクリュー（Screw）方式であり、競合他社が活用するルーツ（Roots）と比較して部品数が少なく、排気量が高いのがメリットです。

ポンプ前段部分（真空配管）に装着して、毒性/引火性ガスを安全なガスに処理するシステムです。
配管PM時の際、ZrO,HfO,TiOなどプロセス副産物による発熱、発火、爆発などを防ぐため、環境安全観点から該当工程では多く採用されております。

特徴
・毒性/引火性ガスを安全なガスに改質処理
・副生成物を分解・排気
・副生成物のParticleサイズを最小化
・PumpのMTBFを延⾧(メンテナンスコストを削減)

独自開発の検査プログラムにより、リードフレーム製品の位置を正確に特定し、微細な欠陥を高精度で検出。リード部品ごとの補正機能で過検出を防ぎ、安定した検査を実現します。
さらに、製品データを蓄積・検証することで、検査アルゴリズムの進化と精度向上を継続的に行います。お客様のニーズから生まれた新しいタイプの検査機です。

レーザ加工用水溶性保護膜
レーザ加工用水溶性保護膜は、水性ポリマー溶液で、レーザ加工面にスピンコートすることでデブリ付着を大幅に抑制し、デバイスの信頼性向上に貢献します。

ダイシング添加剤
ダイシング添加剤は、水性のポリマー溶液で、レードダイシングで発生するウェーハの破片を素早く分散させ、ウェーハ表面に破片が蓄積するのを防ぎ、腐食や汚染の問題を軽減します。

高性能・低コストのSWIRイメージセンサを実現するために、イメージセンサまたはセンサ材料および半導体製造を支援する量子ドット製品および技術サービスを提供。
既存のSWIR技術と比較し大幅にコストダウンを実現し将来のSWIR製品市場に変革をもたらします。

SEMI-TSは2014年に設立され、半導体製造プロセスに欠かせないAMHSソリューション事業を開始。
300mm FABのクリーンコンベア/E84センサー事業/スマートパージシステム/Smart OHT開発などを行っている。