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2023.11.01
薬液希釈供給装置に関して東京大学と共同研究開発契約を締結しました。
当社は、東京大学大学院理学系研究科化学専攻小林研究室と薬液希釈供給装置を用いたケミカルフロー調合に関して、共同研究開発契約を締結致しました。
これを機に、半導体プロセス用途のみならず、メディカル、アグロケミカル用途への応用を目指します。
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