直前調合装置直前調合システム(仮)

• 接続装置の接続ポイント直前でスラリーや薬液(ケミカル)、洗浄液(クリーナー)を調合供給するユニット(各種条件アリ)
• スラリー、薬液、洗浄液等原液を指定圧/流量にて安定(無脈動)状態で受取り、DIW等とin-line調合し、供給するシステム
• 調合倍率や、調合液により様々なタイプのシステムを組合わせる事が出来る

※本システムには、DIWや原液など無脈動の安定供給を行う付帯システムが必要となります。

• 希釈調合の精度(再現性)
• 濃度監視システムも準備(条件による　※御相談下さい)
• 直前調合のによる薬液の減衰や劣化がの起きにくいシステム
• 連続供給を可能にした調合方式
• システム特徴を生かした、供給中の濃度変更が可能
• 監視情報と装置状態を常時監視しデータ蓄積による不具合解析の迅速化